BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導體制程超高純工藝氣體在線過濾應用設計、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質設計確保高流通量下低阻損、過濾精度高達0.003μm、滿足超高純工藝需求。整體金屬構造、是高溫動態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決方案。
產品特點
? 整體316L不銹鋼結構
? 高通量、低阻力
? 超高顆粒攔截率
? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕
? 適用于多種工藝氣體
? 適用于潔凈室環(huán)境內制造、測試、包裝
? 100%完整性測試
? 100%氨氣檢漏測試
恒歌大宗氣體專用過濾器有著多種規(guī)格型號,可提供OEM定制服務,按照您的需求設計生產大宗氣體專用過濾器,為您的項目提供最專業(yè)的過濾解決方案。
產品參數(shù)
濾芯材質 | 316L不銹鋼粉末燒結 | 殼體材質 | 316L不銹鋼 | ||
最大進氣壓力 | 207bar | 最大工作壓差 | 5.2bar | ||
氦氣驗證泄漏率 | 2x10-10cc/min | 氦氣測試泄露率 | 1x10-10cc/min | ||
表面處理 | 外表面 | Ra < 1.6μm | 最高使用溫度 | 惰性氣體 | 400-500°C |
內表面 | Ra < 0.2μm | 腐蝕性氣體,反應氣體 | 50°C | ||
顆粒攔截效率 | ≥99.9999999%(9LRV)@30slpm | 下游潔凈度 | ≥0.03particles/liter @>0.01um,30slpm | ||
顆粒攔截粒徑 | ≧0.003μm |