氣體過濾IGS面板專用過濾器_半導體潔凈高純氣體過濾器

SF系列IGS面板專用過濾器，用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)，兼容C型和W型多種密封規(guī)格，實現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾，保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量，適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造，堅固耐用，緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件，便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級，安裝維護便捷高效。

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產(chǎn)品詳情

SF系列IGS面板專用過濾器用于半導體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng)、兼容C型和W型多種密封規(guī)格、實現(xiàn)0.003μm級高效顆粒過濾、保障9-LRV清潔度。支持高達100slpm的大流量、適助力設備升級無憂。全316L不銹鋼構造、堅固耐用、緊湊體型融合全焊接與機械密封技術。采用符合SEMI標準的表面安裝元件、便于系統(tǒng)集成與模塊化設計升級、安裝維護便捷高效。

產(chǎn)品特點

? 整體316L不銹鋼結構

? 小型化設計、結構緊湊、不占用空間優(yōu)異的氣體置換和解吸特性

? 耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

? 電解拋光316L不銹鋼外殼

? 安裝與檢修便捷高效

? 采用機械密封、結構上與介質(zhì)無焊接

技術參數(shù)

濾芯材質(zhì)	316L不銹鋼粉末燒結		殼體材質(zhì)	316L不銹鋼
最大進氣壓力	3.4Mpa@100°C		最大工作壓差	0.69Mpa@100°C
氦氣驗證泄漏率	1x10^-10cc/min		氦溍照氣測試泄漏率	1x10^-10cc/min
表面處理	外表面	Ra < 1.6μm	最高使用溫度	460℃
表面處理	內(nèi)表面	Ra < 0.13μm	最高使用溫度	460℃
顆粒攔截效率	≧99.9999999%(9LRV)@120slpm (參考MPPS所有顆粒)		下游潔凈度	顆粒釋放:<0.03particles/liter (<1particle/ft3)greater than 0.01μm Volatiles:<10ppb moisture
顆粒攔截粒徑	≧0.003μm		流量范圍	0~120slpm