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半導(dǎo)體氣體過濾器
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儀器保護過濾器_儀器保護專用過濾器_工藝潔凈過濾器

  • MF系列儀器保護專用過濾器，全金屬材質(zhì)，專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計，兼容114”、3/8”及1/2‘‘VCR標準墊圈接口。此過濾器采用墊片式便捷安裝，是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護屏障。在高達400℃環(huán)境下，能有效阻隔微粒侵襲，守護敏感氣體組件，延長設(shè)備壽命，預(yù)防因微粒污染導(dǎo)致的泄露風險?？蛇x擇低壓型或高壓型，也可在現(xiàn)有配管上安裝，為精密設(shè)備提供經(jīng)濟高效的防污屏障。

  • 產(chǎn)品詳情

儀器保護專用過濾器 

阻隔微粒侵襲，守護敏感氣體組件 

為精密設(shè)備提供經(jīng)濟高效的防污屏障


MF系列儀器保護專用過濾器、全金屬材質(zhì)、專為半導(dǎo)體氣體分配系統(tǒng)設(shè)計、兼容114”、3/8”及1/2”VCR標準墊圈接口。

此過濾器采用墊片式便捷安裝、是MFC模塊、精密閥門及穩(wěn)壓設(shè)備不可或缺的守護屏障。

在高達400℃環(huán)境下、能有效阻隔微粒侵襲、守護敏感氣體組件、延長設(shè)備壽命、預(yù)防因微粒污染導(dǎo)致的泄露風險。

可選擇低壓型或高壓型、也可在現(xiàn)有配管上安裝、為精密設(shè)備提供經(jīng)濟高效的防污屏障。

產(chǎn)品特點

整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu)

可以作為表面密封的過濾器、所以不需要額外的工作(切割/焊接管道用于過濾器安裝)

耐高溫、耐高壓、耐腐蝕

技術(shù)參數(shù)

濾芯材質(zhì)    316L不銹鋼粉末燒結(jié)殼體/墊片材質(zhì)  316L不銹鋼
表面處理   內(nèi)表面   拋光+電解Ras0.2um最高使用溫度    400°C
外表面     Ra < 1.бum  
顆粒攔截粒徑  ≥99.9999999%(9LRV)@100slpm
(參考MPPS，所有顆粒)		顆粒攔截粒徑  ≥0.3um



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