TF系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器,專(zhuān)為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì),精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒,保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便,僅需氣路對(duì)接與螺母緊固,避免焊接風(fēng)險(xiǎn),確保密封無(wú)憂(yōu)。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造結(jié)構(gòu)緊湊輕盈,大幅降低壓力損耗,展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率,...
TF系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器、專(zhuān)為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)、精準(zhǔn)清除UHP超純氣流微粒、保障生產(chǎn)純凈度。其安裝簡(jiǎn)便、僅需氣路對(duì)接與螺母緊固、避免焊接風(fēng)險(xiǎn)、確保密封無(wú)憂(yōu)。采用頂級(jí)316L不銹鋼全材打造、結(jié)構(gòu)緊湊輕盈、大幅降低壓力損耗、展現(xiàn)卓越微粒過(guò)濾效率...
直線(xiàn)過(guò)濾器采用316L不銹鋼材質(zhì),線(xiàn)型結(jié)構(gòu)緊湊,用于空間受限的環(huán)境下過(guò)濾氣體或液體中的微固體,以保護(hù)下游流體設(shè)備。最高工作壓力可達(dá)207bar;最高工作溫度204℃;多種過(guò)濾精度:2-5微米,5-10微米,20-40微米。廣泛應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室、...
RF系列多孔金屬限流器RF系列多孔金屬限流器,通過(guò)與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合,安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線(xiàn)和氣體分配歧管中,以防止由于氣體管線(xiàn)破裂、閥門(mén)或壓力調(diào)節(jié)器故障,引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中,用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠...
RF系列多孔金屬限流器、通過(guò)與不同規(guī)格的氣阻配件結(jié)合、安裝在壓縮氣體供應(yīng)管線(xiàn)和氣體分配歧管中、以防止由于氣體管線(xiàn)破裂、閥門(mén)或壓力調(diào)節(jié)器故障、引起的意外高氣體流量。在半導(dǎo)體制程氣體輸送分配系統(tǒng)中、用于保護(hù)氣體流量穩(wěn)定可靠、減少氣體流動(dòng)負(fù)擔(dān)、避...
擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器,專(zhuān)為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過(guò)濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對(duì)工藝室...
DF系列擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器,專(zhuān)為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動(dòng)特性和高效過(guò)濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專(zhuān)用過(guò)濾器過(guò)濾精度可達(dá)0.003μm。獨(dú)特的全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過(guò)濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,...
SF系列IGS面板專(zhuān)用過(guò)濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003um級(jí)高效顆粒過(guò)濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級(jí)無(wú)憂(yōu)。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊...
OF系列在線(xiàn)式專(zhuān)用氣體過(guò)濾器,專(zhuān)為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過(guò)濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
KF系列真空系統(tǒng)氣體過(guò)濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過(guò)程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過(guò)濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...
0F系列在線(xiàn)式專(zhuān)用氣體過(guò)濾器,專(zhuān)為高流量電子級(jí)氣體超純凈化設(shè)計(jì),過(guò)濾精度高達(dá)0.003μm。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
BF系列大宗氣體專(zhuān)用過(guò)濾器,專(zhuān)為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線(xiàn)過(guò)濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤(pán)狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過(guò)濾精度高達(dá)0.003um,滿(mǎn)足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過(guò)濾解決...