SF系列IGS面板專用過濾器,用于半導(dǎo)體行業(yè)集成氣體輸送與控制系統(tǒng),兼容C型和W型多種密封規(guī)格,實(shí)現(xiàn)0.003um級高效顆粒過濾,保障9-LRV清潔度。支持高達(dá)100slpm的大流量,適助力設(shè)備升級無憂。全316L不銹鋼構(gòu)造,堅(jiān)固耐用,緊湊...
OF系列在線式專用氣體過濾器,專為高流量電子級氣體超純凈化設(shè)計(jì),過濾精度高達(dá)0.003um。其結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,與多種半導(dǎo)體工藝氣體兼容,尤其適用于大宗氣體及惰性氣體。該系列采用全焊接316L不銹鋼外殼,確保與多數(shù)高純度半導(dǎo)體工藝氣體的兼容...
KF系列真空系統(tǒng)氣體過濾器易于安裝于真空系統(tǒng),特別適用于實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的回填過程有效提升產(chǎn)品產(chǎn)量和設(shè)備吞吐量。在規(guī)范安裝及操作條件下,可確保產(chǎn)品完整性達(dá)3,000,000次循環(huán)。該過濾器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體設(shè)備接口(如CVD、PVD、E...
在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)中,大宗氣體的高效過濾是確保生產(chǎn)流程順暢和產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。特別是在半導(dǎo)體、電子、化工等對氣體純度要求極高的領(lǐng)域,選擇一款性能卓越的氣體過濾器至關(guān)重要。恒歌 BF 系列大宗氣體專用過濾器憑借其高通量、低阻力的特性,成為滿足大...
選擇合適的高壓氣體過濾器需綜合考慮氣體性質(zhì)、流量、過濾精度、壓力等多方面因素,以下是具體的選擇方法:
在半導(dǎo)體制造過程中,化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、蝕刻(Etch)、外延生長(Epi)等關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)對氣體純凈度要求極高。過濾器能夠高效捕捉并去除氣體中的塵埃、金屬微粒等雜質(zhì),確保進(jìn)入工藝區(qū)域的氣體純凈度達(dá)到極高的標(biāo)準(zhǔn),從...
恒歌不銹鋼VCR過濾墊片是一種安裝在VCR接頭中的密封元件,通常用于氣體管路系統(tǒng)。它通過金屬墊片的彈性變形實(shí)現(xiàn)密封,同時(shí)可以過濾氣體中的微小顆粒雜質(zhì),并對氣體流量進(jìn)行一定程度的限制。
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
BF系列大宗氣體專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì),采用全316L不銹鋼精密打造,多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損,過濾精度高達(dá)0.003um,滿足超高純工藝需求。整體金屬構(gòu)造,是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
BF系列大宗氣體專用過濾器、專為半導(dǎo)體制程超高純工藝氣體在線過濾應(yīng)用設(shè)計(jì)、采用全316L不銹鋼精密打造、多柱狀或疊盤狀介質(zhì)設(shè)計(jì)確保高流通量下低阻損、過濾精度高達(dá)0.003μm、滿足超高純工藝需求,整體金屬構(gòu)造、是高溫動(dòng)態(tài)環(huán)境下的理想過濾解決...
HF系列高壓氣體專用過濾器采用316l不銹鋼經(jīng)高溫?zé)Y(jié)制成,具有良好的機(jī)械性和剛性,耐高溫、耐腐蝕、透氣,易于清潔的特點(diǎn);濾芯式的設(shè)計(jì)可更換濾芯,可以重復(fù)使用,使用壽命長;可去除壓縮空氣中的油、水、異物等雜質(zhì),改善下游干燥機(jī)的功能,延長精密...
在制藥行業(yè),生產(chǎn)流程的每一個(gè)環(huán)節(jié)都關(guān)乎藥品的質(zhì)量與安全性,任何細(xì)微差錯(cuò)都可能引發(fā)嚴(yán)重后果。高壓氣體過濾器,作為確保制藥生產(chǎn)中氣體純凈度的關(guān)鍵設(shè)備,其重要性不言而喻。作為專業(yè)的高壓氣體過濾器生產(chǎn)廠家,我們深入了解制藥工藝需求,致力于為制藥企業(yè)...