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半導(dǎo)體BF 系列氣體過濾器過濾原理!

作者:燒結(jié)過濾器專家 發(fā)布時間:2024-11-23 11:28:37人氣: 來源:金屬燒結(jié)過濾器廠家

在半導(dǎo)體制造這個對純凈度要求極高的精密領(lǐng)域里,BF 系列大宗氣體專用過濾器的過濾原理猶如一場微觀世界里的精準 “篩選大賽”。


當含有各類雜質(zhì)的工藝氣體進入到 BF 系列過濾器時,首先面臨的是多柱狀或疊盤狀介質(zhì)所構(gòu)建起的復(fù)雜且有序的過濾通道。這些介質(zhì)就像是一個個精心設(shè)計的迷宮關(guān)卡,氣體分子必須在其中穿梭前行。對于那些尺寸大于 0.003um 的顆粒雜質(zhì)來說,它們就如同體型龐大的 “巨人”,根本無法順利通過這些狹窄且精密的通道。這些雜質(zhì)顆粒會被介質(zhì)表面所吸附或者直接被阻擋在通道入口處,就好像被一道堅固的城墻攔住了去路,只能無奈地被攔截下來,從而無法繼續(xù)在氣體流中 “搗亂”。

半導(dǎo)體BF系列氣體過濾器

而對于一些氣態(tài)雜質(zhì),比如水分、有機揮發(fā)物等,過濾器的介質(zhì)則憑借其特殊的物理化學(xué)性質(zhì)與之發(fā)生作用。例如,介質(zhì)表面可能具有一些活性基團或者微小的孔隙結(jié)構(gòu),這些就像是一個個 “陷阱”。當氣態(tài)雜質(zhì)分子靠近時,會被這些活性基團所吸引,或者被孔隙所捕獲,從而從氣體中分離出來。就如同蒼蠅被粘蠅紙粘住一般,這些氣態(tài)雜質(zhì)被牢牢地固定在介質(zhì)上,使得經(jīng)過過濾后的氣體中此類雜質(zhì)含量大幅降低。


在整個過濾過程中,氣體分子在壓力差的驅(qū)動下持續(xù)地通過過濾器。由于過濾器的巧妙設(shè)計,在確保能夠有效攔截微小雜質(zhì)的同時,又不會對氣體的流通造成過大的阻礙,從而實現(xiàn)了在高流通量下依然能夠保持低阻損的卓越性能。這種精準的過濾原理,使得 BF 系列過濾器能夠?qū)⒐に嚉怏w中的雜質(zhì)層層剝離,最終輸出超高純度的氣體,為半導(dǎo)體制造工藝提供了極為可靠的氣體純凈度保障,滿足了從芯片的精細光刻到復(fù)雜蝕刻等各個關(guān)鍵工序?qū)怏w品質(zhì)的嚴苛要求,成為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中不可或缺的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

 


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版權(quán)保護: 本文由 燒結(jié)過濾器專家 原創(chuàng),轉(zhuǎn)載請保留鏈接:http://m.gbfalan.cn/xinwendongtai/1145.html

客戶評價

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