半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程對(duì)氣體的純凈度要求極高，精確控制氣體中的微粒含量是納微米氣體過(guò)濾器的重要應(yīng)用領(lǐng)域。同時(shí)，半導(dǎo)體制造過(guò)程中涉及的工藝氣體，部分具有腐蝕性、高純度等特性，高質(zhì)量的過(guò)濾器有助于精準(zhǔn)清除超純氣流中的微粒，保障生產(chǎn)環(huán)境的純凈度，從而確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)安全。恒歌在產(chǎn)品設(shè)計(jì)和半導(dǎo)體相關(guān)行業(yè)應(yīng)用方面擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)，能夠提供符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的過(guò)濾器解決方案，滿足客戶在安全性、可靠性和性能方面的需求。

一、客戶嚴(yán)苛的使用工況

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，超純氣體的使用極為關(guān)鍵，其純凈度直接影響到芯片的質(zhì)量和性能?？蛻粼诎雽?dǎo)體芯片的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，需要使用超純工藝氣體，然而這些氣體中存在的微小顆粒雜質(zhì)，可能會(huì)導(dǎo)致芯片制造過(guò)程中出現(xiàn)缺陷，影響產(chǎn)品的良品率?？蛻粼械臍怏w過(guò)濾設(shè)備，無(wú)法滿足其對(duì)超純氣體中微粒的高精度過(guò)濾要求，在氣體流量較大時(shí)，過(guò)濾效果明顯下降，無(wú)法保障生產(chǎn)環(huán)境的純凈度。

在半導(dǎo)體的光刻、刻蝕等關(guān)鍵工藝中，對(duì)氣體的純凈度要求極高，任何微小的雜質(zhì)顆粒都可能導(dǎo)致芯片的電路圖案出現(xiàn)偏差或損壞?？蛻羰褂玫墓に嚉怏w中，包含一些具有腐蝕性的成分，如含氟氣體等，這對(duì)過(guò)濾器的材質(zhì)提出了更高的要求。普通材質(zhì)的過(guò)濾器在這種腐蝕性氣體的侵蝕下，容易出現(xiàn)損壞，不僅影響過(guò)濾效果，還可能導(dǎo)致氣體泄漏，帶來(lái)安全隱患。

客戶使用的常規(guī)過(guò)濾器進(jìn)行測(cè)試，當(dāng)氣體流量達(dá)到一定數(shù)值，且在含有腐蝕性氣體的環(huán)境中運(yùn)行一段時(shí)間后，普通材質(zhì)的過(guò)濾器濾芯很快被腐蝕，過(guò)濾效率大幅降低，無(wú)法有效攔截超純氣體中的微粒，使得生產(chǎn)出來(lái)的芯片良品率無(wú)法達(dá)標(biāo)。若無(wú)法解決過(guò)濾器在此環(huán)境中的高精度過(guò)濾和耐腐蝕問(wèn)題，客戶將面臨產(chǎn)品生產(chǎn)效率降低，產(chǎn)品質(zhì)量無(wú)法保證的困境。面對(duì)此困境，客戶最終找到恒歌尋求解決方案。

二、恒歌的定制化解決方案

為了應(yīng)對(duì)此次挑戰(zhàn)，恒歌為此工況定制了 TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器(直通式過(guò)濾器)。這款過(guò)濾器專(zhuān)為半導(dǎo)體領(lǐng)域設(shè)計(jì)，采用整體 316L 不銹鋼結(jié)構(gòu)，能夠精準(zhǔn)清除 UHP(Ultra High Purity，超高純)超純氣流中的微粒，保障生產(chǎn)的純凈度。同時(shí)，考慮到客戶使用環(huán)境中存在腐蝕性氣體，316L 不銹鋼具有出色的耐腐蝕性能，能夠有效抵抗含氟氣體等腐蝕性成分的侵蝕。

1. 高精度微粒過(guò)濾性能

TF 系列過(guò)濾器采用先進(jìn)的過(guò)濾技術(shù)，能夠有效攔截超純氣體中的微粒，攔截率高達(dá) 99.9999%。其高通量、低阻力的設(shè)計(jì)，大幅降低了壓力損耗，確保氣體在高流量下仍能保持穩(wěn)定的過(guò)濾效率，滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)氣體流量和壓力的嚴(yán)格要求。

2. 堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

過(guò)濾器整體采用 316L 不銹鋼材質(zhì)，具有耐高溫、耐高壓、耐腐蝕的特性。其工作溫度-28~ +482℃，工作壓力207~414bar，能夠適應(yīng)半導(dǎo)體生產(chǎn)中的各種苛刻工況。這種材質(zhì)不僅能夠有效抵抗含氟氣體等腐蝕性成分的侵蝕，還能確保設(shè)備在長(zhǎng)期使用過(guò)程中的穩(wěn)定性和可靠性。

3. 便捷的安裝與維護(hù)

TF 系列過(guò)濾器安裝簡(jiǎn)便，僅需進(jìn)行氣路對(duì)接與螺母緊固，無(wú)需焊接，避免了焊接過(guò)程中可能產(chǎn)生的污染和風(fēng)險(xiǎn)，確保密封無(wú)憂。此外，過(guò)濾器的維護(hù)也非常方便，更換濾芯簡(jiǎn)單快捷，無(wú)需拆卸整個(gè)設(shè)備，大大減少了維護(hù)時(shí)間和成本。

4. 嚴(yán)格的質(zhì)量控制

恒歌對(duì) TF 系列過(guò)濾器的生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行了嚴(yán)格的質(zhì)量控制，每一件產(chǎn)品都經(jīng)過(guò) 100% 完整性測(cè)試和 100% 氨氣檢漏測(cè)試，確保產(chǎn)品的性能和質(zhì)量達(dá)到最高標(biāo)準(zhǔn)。這種嚴(yán)格的質(zhì)量控制措施，為客戶提供了可靠的保障，使客戶能夠放心使用。

三、成功交付與客戶反饋

在恒歌的定制化解決方案下，TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器經(jīng)過(guò)多次嚴(yán)格的測(cè)試和驗(yàn)證，完全滿足了客戶對(duì)超純氣體微粒清除的要求。在實(shí)際使用過(guò)程中，過(guò)濾器的性能穩(wěn)定可靠，有效保障了半導(dǎo)體生產(chǎn)的純凈度，提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。客戶對(duì)恒歌的產(chǎn)品和服務(wù)給予了高度評(píng)價(jià)，認(rèn)為恒歌的專(zhuān)業(yè)技術(shù)團(tuán)隊(duì)和定制化解決方案為他們解決了長(zhǎng)期困擾的難題，為半導(dǎo)體生產(chǎn)的順利進(jìn)行提供了有力支持。

恒歌憑借其在納米微米氣體過(guò)濾器領(lǐng)域的專(zhuān)業(yè)技術(shù)和豐富經(jīng)驗(yàn)，成功為半導(dǎo)體客戶定制了一款能夠精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流中微粒的 TF 系列工藝氣體專(zhuān)用過(guò)濾器。這款過(guò)濾器以其卓越的微粒過(guò)濾性能、堅(jiān)固耐用的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、便捷的安裝與維護(hù)以及嚴(yán)格的質(zhì)量控制，贏得了客戶的信賴(lài)和認(rèn)可。恒歌將繼續(xù)致力于為客戶提供高質(zhì)量、高性能的氣體過(guò)濾解決方案，助力半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。如果您也面臨著類(lèi)似的超純氣體微粒污染難題，歡迎與恒歌聯(lián)系，我們將為您提供專(zhuān)業(yè)的定制化解決方案。

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